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半導(dǎo)體制造行業(yè):集成電路工藝之無塵室建設(shè)經(jīng)驗(yàn) CEIDI西遞

最初的無塵室其實(shí)是為醫(yī)院手術(shù)部而建設(shè)的專有場(chǎng)所,能夠控制空氣中引發(fā)手術(shù)后感染的細(xì)菌污染。隨時(shí)科學(xué)的進(jìn)步以及生產(chǎn)工藝的要求,各行各業(yè)的生產(chǎn)工作都發(fā)生了翻天覆地的變化。半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展后不久,工程師便認(rèn)識(shí)到控制污染物的重要性,因而在制造晶體管和集成電路等工藝時(shí)都會(huì)引入了無塵室技術(shù)。 集成電路無塵室、芯片生產(chǎn)車間和磁盤制造車間這三大類車間是電子制造業(yè)里需要建設(shè)無塵室的部分。這也是電子生產(chǎn)行業(yè)的特殊寫...

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內(nèi)容介紹

      最初的無塵室其實(shí)是為醫(yī)院手術(shù)部而建設(shè)的專有場(chǎng)所,能夠控制空氣中引發(fā)手術(shù)后感染的細(xì)菌污染。隨時(shí)科學(xué)的進(jìn)步以及生產(chǎn)工藝的要求,各行各業(yè)的生產(chǎn)工作都發(fā)生了翻天覆地的變化。半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展后不久,工程師便認(rèn)識(shí)到控制污染物的重要性,因而在制造晶體管和集成電路等工藝時(shí)都會(huì)引入了無塵室技術(shù)。 集成電路無塵室、芯片生產(chǎn)車間和磁盤制造車間這三大類車間是電子制造業(yè)里需要建設(shè)無塵室的部分。這也是電子生產(chǎn)行業(yè)的特殊寫照。當(dāng)然,電子廠房也不會(huì)專門只設(shè)計(jì)裝修一個(gè)無塵室,大多是在廠區(qū)新建或者升級(jí)改造的形勢(shì)下,做整廠的裝修計(jì)劃。這里面就有區(qū)分無塵受控潔凈區(qū)和普通區(qū)域。>>>商務(wù)洽談,點(diǎn)此處,在線咨詢

半導(dǎo)體制造行業(yè):集成電路工藝之無塵室建設(shè)經(jīng)驗(yàn)   CEIDI西遞

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電子制造廠房凈化工程平面分區(qū)

1、潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、潔凈輔助區(qū)

3、辦公管理區(qū)

4、設(shè)備區(qū)

      像我們前面說的無塵室就會(huì)建設(shè)在潔凈生產(chǎn)區(qū),在這部分工作區(qū)域內(nèi),工作人員需要做嚴(yán)格的隔離措施進(jìn)到無塵室空間工作(穿無塵服)。因?yàn)樵跓o塵室受控條件內(nèi)生產(chǎn)的電子產(chǎn)品多為高精度的電子元器件,儀器設(shè)備對(duì)環(huán)境要求較高,不起眼的微塵都會(huì)影響到精密電子產(chǎn)品的質(zhì)量,穿無塵服可以防止人體身上的塵埃進(jìn)入到空氣中,保障無塵車間的清潔度。

      電子制造無塵室按照工藝要求一般會(huì)分千級(jí)、萬級(jí)或十萬級(jí),譬如末端工藝的LCD制屏無塵車間。背光屏沖壓無塵車間、組裝無塵車間潔凈度一般設(shè)為萬級(jí)或十萬級(jí),不需要達(dá)到千級(jí)??偟膩碚f在無塵車間有多種工藝工序時(shí),可以根據(jù)工藝的不同要求,采用不同的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行建設(shè),很多甲方也是委托CEIDI西遞的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)為其規(guī)劃分區(qū),以謀求最大的經(jīng)濟(jì)效益。

      要使電子無塵室潔凈度等級(jí)達(dá)到相應(yīng)要求,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等都要按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,同時(shí)對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。以電子萬級(jí)無塵室為例,電子制造萬級(jí)無塵室相關(guān)技術(shù)指標(biāo)如下

1、電子制造廠萬級(jí)無塵室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)、

2、電子制造廠萬級(jí)無塵室溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊無塵車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。

3、電子制造廠無塵室垂直流無塵室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流無塵室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

4、電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

5、電子制造行業(yè)萬級(jí)無塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6、根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無塵室的送風(fēng)量,保證供給無塵室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

7、電子制造行業(yè)無塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。

      無論哪種無塵車間都是依據(jù)生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)來做設(shè)計(jì),再結(jié)合甲方的預(yù)算做設(shè)備選型,CEIDI西遞這類潔凈工程EPC總包公司一般會(huì)結(jié)合甲方屬意的設(shè)備清單(品牌),做全面評(píng)估,綜合工藝、空間等各種因素來確定采用何種凈化方案和凈化設(shè)備選型等內(nèi)容。譬如:要求不高看中初投資低的甲方,可以選用柜機(jī)+FFU。要空氣處理效果最大化、噪音低、廠房面積也比較大且預(yù)算不吃緊的,可以設(shè)計(jì)組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口的方案,并按技術(shù)評(píng)估后的方案為甲方推薦合理的設(shè)備選型。經(jīng)技術(shù)調(diào)整后的搭配方案不僅為甲方后續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行打好基礎(chǔ),可能也為甲方節(jié)省下了不必要的開支。

      電子制造無塵室是工業(yè)無塵室中非常富有技術(shù)性的凈化工程,建設(shè)單位的技術(shù)水平會(huì)直接影響整個(gè)工程的優(yōu)劣。所以電子制造行業(yè)的凈化工程須謹(jǐn)慎對(duì)待,與專業(yè)的潔凈工程EPC集成服務(wù)商合作會(huì)是相對(duì)保險(xiǎn)的良策。

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